ZrO2 (YSZ) Zirconium Oxide
酸化ジルコ二ア単結晶は初期に開発された基板の一つで様々な種類の材料に
用いられてきました。それがイットリウム安定化ジルコニア単結晶と呼ばれるように、
結晶構造を安定させるためにイットリウムがドープされております。
基板として機械的、物理的、化学的に優れた特性をもつ材料です。
YSZ Boules and Substrates
YSZ- Main Properties
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クラス/結晶構造 |
Cubic |
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育成方法 |
Arc Melt |
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格子定数、Å |
a=5.147 |
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密度 |
6.0 g/cm3 |
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融点 |
2973 °C |
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熱膨張係数 |
10.3 J/g･k |
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誘電率 |
27 |
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硬度 (Mohs) |
8-8.5 |
Standard physical dimensions:
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標準サイズ |
10x10x0.5 mm (or 1.0mm), up to 2inch diameter |
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厚み公差 |
± 0.05 mm |
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面方位 |
<100>,<110>,<111> ± 0.5° |
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表面粗さ |
Ra < 5Å（5μm x 5μm） |
