Single Crystal Silicon Carbide (SiC)
炭化ケイ素(SiC)は物理的、化学的にも安定で、高強度・硬度、熱伝導率、耐熱衝撃性のいずれも高く耐熱衝撃性 にも優れていることから、今後は青色発光ダイオード、およびシリコン(Si)に代わる半導体材料として期待されている。
SiC - Main Properties
化学式
SiC
分子量
40.10
結晶構造
Hexagonal
格子定数
a =3.08 Å c = 15.08Å
積層配列
ABCACB (6H)
成長方法
MOCVD
面方位
On axis or 3.5° off (0001)
研磨面
Silicon face polished
バンドギャップ
2.93 eV (Indirect)
伝導型
N
抵抗値
0.076 ohm-cm
誘電率
e(11) = e(22) = 9.66 e(33) = 10.33
熱伝導率
5 W / cm. K
硬度(Mohs)
9
標準サイズ
〜 2inch dia x 0.4 mm thick