SrTiO3 (Strontium Titanate）
チタン酸ストロンチウム単結晶はHTS(高温超伝導)のエピタキシャル成長、または酸化膜
の成膜用に最適な基板です。
また、特殊な光学ウインドウやスパッタリングターゲット材料としても利用されております。
SrTiO3 Boules and Substrates
SrTiO3 - Main Properties
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クラス/結晶構造 |
Cubic m3m Peroviskite |
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育成方法 |
Flame |
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格子定数、Å |
a=3.905 |
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密度 |
5.117 g/cm3 |
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融点 |
2353 °C |
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比熱容量 |
0.544J/g?k(300°K) |
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熱伝導率 |
11.2W/m・k |
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熱膨張係数 |
9.4x10-6k-1 |
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誘電率 (εr) |
300､ 2000(80°K) (7-15GHz) |
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誘電損失 (tgδ) |
5x10-4(295°K)､ 2.5x10-4(80°K) Microwave |
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硬度 (Mohn) |
6-6.5 |
Standard physical dimensions:
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標準サイズ |
5x5x0.5 mm 〜 25ｘ25x0.5 mm: |
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インゴット <100> |
30 mm dia. x 30 - 50 mm length |
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面方位 |
<100>, <110>, <111> |
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表面 |
Ra < 5 Å（5μm×5μm） |
