リチウムナイオベート結晶
E-O係数やA-O係数が大きいため、LiNbO3結晶はポッケルス・セルやQスイッチ、位相変調器、導波路基板、表面超音波(SAW)ウエハーなどに最も一般的に用いられている材料です。Castech社は超音波(SAW)グレードのLiNbO3結晶を、ウエハー、アズ-カットボールなど、お客様のご希望にあわせて仕上げ、供給いたします。
結 晶 構 造 : 三方晶系,空間グループR3c,ポイントグループ3m
セルパラメータ : a=5.148Å,c=13.863Å
融 点 : 1253℃
キュリーポイント : 1140℃
モ
ー ス 硬 度 : 5
密 度 : 4.64g/cm3
相 対 誘 電 率 : ε11/ε0:85, ε33/ε0:29.5
伸縮強固係数 : CE11
2.04(X1011N/m2)
CE11
2.46(X1011N/m2)
圧 電 率 : d22 2.04(x10-11C/N)
d33 19.22(x10-11C/N)
標準SAWプロパティ
カットタイプ |
νs(m/s) |
κ2s(%) |
TCV(10-6/℃) |
TCD(10-6/℃) |
127.86°Y-X |
3970 |
5.5 |
-60 |
78 |
Y-X |
3485 |
4.3 |
-85 |
95 |
a. ボウル
標準直径 (mm) |
(φ) 2”±2 |
(φ) 3”±2 |
標準長さ (mm) |
≦150 |
≦100 |
標準面方位 |
127.86°Y,64°Y,Y,Z |
|
面 方 位 |
X又はY |
|
b. ウエハー
直 径(mm) |
(φ) 2”±2mm |
(φ) 3”±2mm |
厚 さ(mm) |
0.5mm |
1mm |
面 方 位 |
127.86°Y,64°Y,47.5°Y,X,Y,Z |
|
オリフラ(参考) |
X |
|
平面幅(mm)(参考) |
16±2mm |
20±2mm |
正 面 研 磨(μm) |
0.25〜0.016 |
|
裏面ラッピング(μm) |
10〜15 |
|
平 面 度(μm) |
≦30 |
≦40 |
Bow (μm) |
≦30 |
≦40 |
Castech社では上記以外のサイズや仕様のウエハーも供給が可能です。
LiNbO3結晶はE-OモジュレータとNd:YAG,Nd:YLF,Ti:サファイアレーザ等のQスイッチ用モジュレータに使用され、また光ファイバー等の変調器にも使用されます。伝送用の変調は大部分LiNbO3の結晶が用いられます。
Qスイッチ仕様
サ イ ズ |
9x9x25mm3,その他のサイズもご要望により可 |
サ イ ズ 精 度 |
Z軸:±0.3mm |
|
X軸並びにY軸:±0.1mm |
面 取 り |
0.5mm以下@45° |
面 精 度 |
Z軸:<±0.5° |
|
X軸並びにY軸:<±10° |
平 行 度 |
<10” |
仕 上 げ |
10/5スクラッチ/ディグ |
平 面 度 |
λ/8@632.8nm |
ARコーティング |
反射率:<0.2%@1064nm |
電 極 |
X面上にAu電極 |
波 面 歪 み |
<λ/4@632.8nm |
消 光 比 |
>100:1(φ8mm)@632.8nm |