仕様項目
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仕様値
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ウエーファー タイプ |
Plano or Prism
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グレーティング タイプ |
透過型又は反射型グレーティング
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線密度(Line Density) |
940, 966.2, 1200, & 3000line/mmまで
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線密度公差 |
±0.5 line/mm
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波長範囲 |
1525-1575nm
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中心波長 |
1550nm
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入射角度 |
Littrow or お客様仕様
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偏光 |
TE/TM
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回折効率 |
> 94%
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クリヤアパーチャー |
>95%
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波面歪み |
λ/4 @632.8nm
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面精度(スクラッチ/ディグ) |
40-20 S/D
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平行度 |
<0.1°
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コーティング |
Au又は誘電体コーティング
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