仕様項目
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仕様値
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グレーティング タイプ |
Plano grating
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線密度(Line Density) |
1700 line/mm
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線密度公差 |
±0.5 line/mm
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波長範囲 |
1020-1050nm
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中心波長 |
1040nm
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入射角度 |
Littrow incedence
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偏光 |
TM
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回折効率 |
> 94%
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クリヤアパーチャー |
>90%
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波面歪み |
λ/4 @632.8nm
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面精度(スクラッチ/ディグ) |
40-20 S/D
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平行度 |
<0.1°
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コーティング |
Au層
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